Bilang karagdagan sa mahigpit na kontrol sa mga particle, ang electronic clean room na kinakatawan ng mga chip production workshop, integrated circuit dust-free workshop at disk manufacturing workshop ay mayroon ding mas mahigpit na mga kinakailangan para sa temperatura at halumigmig na kontrol, pag-iilaw at micro-shock. Mahigpit na alisin ang epekto ng static na kuryente sa mga produkto ng produksyon, upang matugunan ng kapaligiran ang mga kinakailangan sa proseso ng produksyon ng mga produktong elektroniko sa isang malinis na kapaligiran.
Ang temperatura at halumigmig ng electronic clean room ay dapat matukoy ayon sa mga kinakailangan sa proseso ng produksyon. Kapag walang mga tiyak na kinakailangan para sa proseso ng produksyon, ang temperatura ay maaaring 20-26°C at ang relatibong halumigmig ay 30%-70%. Ang temperatura ng mga tauhan na malinis na silid at sala ay maaaring 16-28 ℃. Ayon sa pambansang pamantayang Tsino na GB-50073, na naaayon sa mga internasyonal na pamantayan ng ISO, ang antas ng kalinisan ng ganitong uri ng malinis na silid ay 1-9. Kabilang sa mga ito, klase 1-5, ang pattern ng daloy ng hangin ay unidirectional flow o mixed flow; class 6 air flow pattern ay non-unidirectional flow at air change ay 50-60 times/h; class 7 air flow type ay non-unidirectional flow, at air change ay 15-25 times/h; class 8-9 air flow type ay non-unidirectional flow, ang air change ay 10-15 times/h.
Ayon sa kasalukuyang mga pagtutukoy, ang antas ng ingay sa loob ng class 10,000 electronic clean room ay hindi dapat mas mataas sa 65dB(A).
1. Ang buong ratio ng vertical flow clean room sa electronic clean room ay hindi dapat mas mababa sa 60%, at ang horizontal unidirectional flow clean room ay hindi dapat mas mababa sa 40%, kung hindi, ito ay magiging partial unidirectional flow.
2. Ang pagkakaiba ng static na presyon sa pagitan ng elektronikong malinis na silid at sa labas ay hindi dapat mas mababa sa 10Pa, at ang pagkakaiba ng static na presyon sa pagitan ng malinis na mga lugar at hindi malinis na mga lugar na may iba't ibang kalinisan ng hangin ay hindi dapat mas mababa sa 5Pa.
3. Ang dami ng sariwang hangin sa isang class 10000 electronic clean room ay dapat na katumbas ng halaga ng sumusunod na dalawang item.
4. Bayaran ang kabuuan ng dami ng hanging tambutso sa loob ng bahay at ang dami ng sariwang hangin na kinakailangan upang mapanatili ang halaga ng positibong presyon sa loob ng bahay.
5. Tiyakin na ang dami ng sariwang hangin na ibinibigay sa malinis na silid bawat tao kada oras ay hindi bababa sa 40 metro kuwadrado.
Oras ng post: Abr-08-2024