Ang Cleanroom ay isang silid na may kontroladong konsentrasyon ng mga nasuspinde na particle sa hangin. Ang pagtatayo at paggamit nito ay dapat mabawasan ang pagpapakilala, pagbuo at pagpapanatili ng mga particle sa loob ng bahay. Ang iba pang nauugnay na mga parameter tulad ng temperatura, halumigmig at presyon sa silid ay dapat kontrolin kung kinakailangan. Ang cleanroom ay nahahati sa bilang ng mga particle ng isang partikular na laki ng butil bawat yunit ng dami ng hangin. Ito ay nahahati ayon sa konsentrasyon ng mga nasuspinde na mga particle sa hangin. Sa pangkalahatan, mas maliit ang halaga, mas mataas ang antas ng paglilinis. Ibig sabihin, class 10> class 100> class 10000> class 100000.
Pangunahing kasama sa pamantayan ng class 100 cleanroom ang operating room, aseptikong pagmamanupaktura ng industriya ng parmasyutiko.
Ang maximum na bilang ng mga particle na may kalinisan na laki ng particle na mas malaki sa o katumbas ng 0.1 micron ay hindi maaaring higit sa 100.
Pagkakaiba ng presyon at temperatura at halumigmig na temperatura 22℃±2; halumigmig 55%±5; karaniwang, kailangan itong ganap na sakop ng ffu at gumawa ng mga nakataas na sahig. Gumawa ng MAU+FFU+DC system. Panatilihin din ang positibong pressure, at ang pressure gradient ng mga katabing kwarto ay ginagarantiyahan na nasa 10pa.
Pag-iilaw Dahil karamihan sa mga nilalaman ng trabaho sa mga malinis na silid na walang alikabok ay may maiinam na mga kinakailangan at lahat sila ay mga saradong bahay, palaging may mataas na kinakailangan para sa pag-iilaw. Lokal na pag-iilaw: Ito ay tumutukoy sa ilaw na naka-set up upang mapataas ang liwanag ng isang itinalagang lokasyon. Gayunpaman, ang lokal na ilaw ay karaniwang hindi ginagamit nang nag-iisa sa panloob na pag-iilaw. Pinaghalong pag-iilaw: Ito ay tumutukoy sa pag-iilaw sa ibabaw ng trabaho na na-synthesize ng isang pag-iilaw at lokal na pag-iilaw, kung saan ang pag-iilaw ng pangkalahatang pag-iilaw ay dapat na account para sa 10% -15% ng kabuuang pag-iilaw.
Ang pamantayan para sa class 1000 cleanroom ay ang kontrolin ang bilang ng mga dust particle na may sukat ng particle na mas mababa sa 0.5 microns bawat cubic meter hanggang mas mababa sa 3,500, na umaabot sa international dust-free standard na A level. Ang pamantayang walang alikabok na kasalukuyang ginagamit sa paggawa at pagproseso sa antas ng chip ay may mas mataas na mga kinakailangan sa alikabok kaysa sa klase A. Ang ganitong matataas na pamantayan ay pangunahing ginagamit sa paggawa ng ilang mas mataas na antas ng mga chip. Ang bilang ng mga particle ng alikabok ay mahigpit na kinokontrol sa loob ng 1,000 kada metro kubiko, na karaniwang kilala bilang class 1000 sa industriya ng cleanroom.
Para sa karamihan ng malinis na mga workshop na walang alikabok, upang maiwasan ang pagsalakay ng panlabas na polusyon, kailangang panatilihing mas mataas ang panloob na presyon (static pressure) kaysa sa panlabas na presyon (static pressure). Ang pagpapanatili ng pagkakaiba sa presyon ay dapat na karaniwang sumunod sa mga sumusunod na prinsipyo: ang presyon ng malinis na espasyo ay dapat na mas mataas kaysa sa hindi malinis na espasyo; ang presyon ng espasyo na may mataas na antas ng kalinisan ay dapat na mas mataas kaysa sa katabing espasyo na may mababang antas ng kalinisan; ang mga pinto sa pagitan ng mga konektadong malinis na silid ay dapat na buksan sa mga silid na may mataas na antas ng kalinisan. Ang pagpapanatili ng pagkakaiba sa presyon ay nakasalalay sa dami ng sariwang hangin, na dapat matumbasan ang dami ng hangin na tumutulo mula sa mga puwang sa ilalim ng pagkakaiba ng presyon na ito. Samakatuwid, ang pisikal na kahulugan ng pagkakaiba sa presyon ay ang paglaban ng pagtagas (o paglusot) ng dami ng hangin kapag dumaan ito sa iba't ibang puwang sa malinis na silid.
Ang Class 10000 cleanroom ay nangangahulugang ang bilang ng mga particle ng alikabok na mas malaki sa o katumbas ng 0.5um ay mas malaki sa 35,000 particle/m3 (35 particles/) hanggang mas mababa sa o katumbas ng 35,000 particles/m3 (350 particles/) at ang bilang ng dust particle na mas malaki kaysa o katumbas ng 5um ay mas malaki kaysa sa 3 o katumbas ng 5um particles/m30 (mas mababa sa 5um particles/m30) hanggang 3,000 particle/m3 (3 particle). Pagkakaiba ng presyon at kontrol ng temperatura at halumigmig.
Temperatura at halumigmig dry coil system control. Inaayos ng kahon ng air conditioning ang paggamit ng tubig ng coil ng air conditioning box sa pamamagitan ng pagkontrol sa pagbubukas ng three-way valve sa pamamagitan ng naramdamang signal.
Class 100000 cleanroom ay nangangahulugan na ang mga particle bawat cubic meter sa work workshop ay kinokontrol sa loob ng 100,000. Ang production workshop ng malinis na silid ay pangunahing ginagamit sa industriya ng electronics at industriya ng parmasyutiko. Ito ay lubos na mabuti para sa industriya ng pagkain na magkaroon ng isang class 100,000 production workshop. Ang class 100,000 cleanroom ay nangangailangan ng 15-19 air change kada oras, Pagkatapos ng buong bentilasyon, ang air purification time ay hindi lalampas sa 40 minuto.
Ang pagkakaiba sa presyon ng malinis na mga silid na may parehong antas ng kalinisan ay dapat panatilihing pare-pareho. Ang pagkakaiba sa presyon sa pagitan ng mga katabing malinis na silid na may iba't ibang antas ng kalinisan ay dapat na 5Pa, at ang pagkakaiba sa presyon sa pagitan ng malinis na mga silid at hindi malinis na mga silid ay dapat na >10pa.
Temperatura at halumigmig Kapag walang mga espesyal na kinakailangan para sa temperatura at halumigmig sa klase na 100,000 malinis na silid, ipinapayong magsuot ng malinis na damit pangtrabaho nang walang pakiramdam na hindi komportable. Ang temperatura ay karaniwang kinokontrol sa 20~22℃ sa taglamig at 24~26℃ sa tag-araw, na may pagbabagu-bago ng ±2C. Ang kahalumigmigan ng mga malinis na silid sa taglamig ay kinokontrol sa 30-50% at ang halumigmig ng mga malinis na silid sa tag-araw ay kinokontrol sa 50-70%. Ang halaga ng pag-iilaw ng mga pangunahing silid ng produksyon sa mga malinis na silid (mga lugar) ay dapat na sa pangkalahatan ay >300Lx: ang halaga ng pag-iilaw ng mga auxiliary studio, paglilinis ng mga tauhan at mga silid sa paglilinis ng materyal, mga silid ng hangin, mga koridor, atbp. ay dapat na 200~300L.
Oras ng post: Abr-14-2025