PANGKALAHATANG KATANGIAN NG HIGH-CLEANLINESS CHIP CLEAN ROOM

1. Mga katangian ng disenyo

Dahil sa mga kinakailangan ng functionalization, miniaturization, integration at precision ng mga produkto ng chip, ang mga kinakailangan sa disenyo ng chip clean room para sa pagmamanupaktura at produksyon ay makabuluhang naiiba sa mga pangkalahatang pabrika.

(1) Mga kinakailangan sa kalinisan: Ang kapaligiran ng paggawa ng chip ay may mataas na mga kinakailangan sa kontrol para sa bilang ng mga particle ng hangin;

(2) Mga kinakailangan sa airtightness: Bawasan ang mga structural gaps at palakasin ang airtightness ng gap structures upang mabawasan ang epekto ng air leakage o polusyon;

(3) Mga kinakailangan sa sistema ng pabrika: Ang mga espesyal na sistema ng kapangyarihan at electromekanikal ay nakakatugon sa mga pangangailangan ng mga makinang pangproseso, tulad ng mga espesyal na gas, kemikal, purong wastewater, atbp;

(4) Mga kinakailangan sa anti-micro-vibration: Ang pagproseso ng chip ay nangangailangan ng mataas na katumpakan, at ang epekto ng vibration sa kagamitan ay kailangang bawasan;

(5) Mga kinakailangan sa espasyo: Ang factory floor plan ay simple, na may malinaw na functional divisions, nakatagong mga pipeline, at makatwirang pamamahagi ng espasyo, na nagbibigay-daan sa flexibility kapag nag-a-update ng mga proseso at kagamitan sa produksyon.

2. Pokus sa Konstruksyon

(1). Mas mahigpit na panahon ng pagtatayo. Ayon sa Moore's Law, ang density ng pagsasama ng chip ay doble bawat 18 hanggang 24 na buwan sa karaniwan. Sa pag-update at pag-ulit ng mga produktong elektroniko, maa-update din ang pangangailangan para sa mga planta ng produksyon. Dahil sa mabilis na pag-update ng mga produktong elektroniko, ang aktwal na buhay ng serbisyo ng mga elektronikong malinis na halaman ay 10 hanggang 15 taon lamang.

(2). Mga kinakailangan sa mas mataas na mapagkukunan ng organisasyon. Ang electronic clean room ay karaniwang malaki sa dami ng konstruksiyon, masikip na panahon ng konstruksiyon, malapit na interspersed na proseso, mahirap na turnover ng mapagkukunan, at mas puro pangunahing pagkonsumo ng materyal. Ang ganitong mahigpit na organisasyon ng mapagkukunan ay nagreresulta sa mataas na presyon sa pangkalahatang pamamahala ng plano at mataas na mga kinakailangan sa organisasyon ng mapagkukunan. Sa pundasyon at pangunahing yugto, ito ay pangunahing makikita sa paggawa, mga bakal na bar, kongkreto, mga materyales sa frame, nakakataas na makinarya, atbp.; Sa yugto ng pag-install ng electromechanical, dekorasyon at kagamitan, higit sa lahat ay makikita ito sa mga kinakailangan sa site, iba't ibang mga tubo at pandiwang pantulong na materyales para sa makinarya ng konstruksiyon, mga espesyal na kagamitan, atbp.

(3). Ang mga kinakailangan sa kalidad ng mataas na konstruksiyon ay pangunahing makikita sa tatlong aspeto ng flatness, airtightness at mababang dust construction. Bilang karagdagan sa pagprotekta sa katumpakan na kagamitan mula sa pinsala sa kapaligiran, panlabas na vibrations, at environmental resonance, ang katatagan ng kagamitan mismo ay pantay na mahalaga. Samakatuwid, ang kinakailangang flatness sa sahig ay 2mm/2m. Ang pagtiyak ng airtightness ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagpapanatili ng mga pagkakaiba sa presyon sa pagitan ng iba't ibang malinis na lugar at sa gayon ay kinokontrol ang mga pinagmumulan ng polusyon. Mahigpit na kontrolin ang paglilinis ng malinis na silid bago mag-install ng air filtration at conditioning equipment, at kontrolin ang mga dust-prone na link sa panahon ng paghahanda ng konstruksiyon at pagtatayo pagkatapos ng pag-install.

(4) Mataas na kinakailangan para sa pamamahala at koordinasyon ng subcontract. Ang proseso ng pagtatayo ng electronic clean room ay kumplikado, lubos na dalubhasa, nagsasangkot ng maraming espesyal na subcontractor, at may malawak na hanay ng cross-operation sa pagitan ng iba't ibang disiplina. Samakatuwid, kinakailangang i-coordinate ang mga proseso at work surface ng bawat disiplina, bawasan ang cross-operation, maunawaan ang mga aktwal na pangangailangan ng interface handover sa pagitan ng mga disiplina, at gumawa ng magandang trabaho sa koordinasyon at pamamahala ng general contractor.