Temperatura at kontrol ng presyon ng hangin sa malinis na silid

Ang proteksyon sa kapaligiran ay binabayaran nang higit pa at higit na pansin, lalo na sa pagtaas ng panahon ng haze. Ang Clean Room Engineering ay isa sa mga hakbang sa proteksyon sa kapaligiran. Paano gumamit ng malinis na engineering engineering upang gumawa ng isang mahusay na trabaho sa proteksyon sa kapaligiran? Pag -usapan natin ang kontrol sa Clean Room Engineering.

Kontrol ng temperatura at kahalumigmigan sa malinis na silid

Ang temperatura at kahalumigmigan ng mga malinis na puwang ay pangunahing tinutukoy batay sa mga kinakailangan sa proseso, ngunit kapag ang mga kinakailangan sa proseso ng pagpupulong, ang kaginhawaan ng tao ay dapat isaalang -alang. Sa pagpapabuti ng mga kinakailangan sa kalinisan ng hangin, mayroong isang kalakaran ng mas mahigpit na mga kinakailangan para sa temperatura at kahalumigmigan sa proseso.

Bilang isang pangkalahatang prinsipyo, dahil sa pagtaas ng katumpakan ng pagproseso, ang mga kinakailangan para sa saklaw ng pagbabagu -bago ng temperatura ay nagiging mas maliit at mas maliit. Halimbawa, sa proseso ng lithography at pagkakalantad ng malakihang integrated circuit production, ang pagkakaiba sa koepisyent ng pagpapalawak ng thermal sa pagitan ng mga baso at silikon na mga wafer na ginamit bilang mga materyales sa mask ay nagiging maliit.

Ang isang silikon na wafer na may diameter na 100 μ m ay nagdudulot ng isang linear na pagpapalawak ng 0.24 μ m kapag ang temperatura ay tumataas ng 1 degree. Samakatuwid, ang isang palaging temperatura ng ± 0.1 ℃ ay kinakailangan, at ang halaga ng kahalumigmigan sa pangkalahatan ay mababa dahil pagkatapos ng pagpapawis, ang produkto ay mahawahan, lalo na sa mga semiconductor workshop na natatakot sa sodium. Ang ganitong uri ng pagawaan ay hindi dapat lumampas sa 25 ℃.

Ang labis na kahalumigmigan ay nagdudulot ng maraming mga problema. Kapag ang kamag -anak na kahalumigmigan ay lumampas sa 55%, ang paghalay ay bubuo sa dingding ng tubo ng paglamig ng tubig. Kung nangyayari ito sa mga aparato ng katumpakan o mga circuit, maaari itong maging sanhi ng iba't ibang mga aksidente. Kapag ang kamag -anak na kahalumigmigan ay 50%, madali itong kalawang. Bilang karagdagan, kapag ang kahalumigmigan ay masyadong mataas, ang alikabok na sumunod sa ibabaw ng silikon na wafer ay magiging chemically adsorbed sa ibabaw sa pamamagitan ng mga molekula ng tubig sa hangin, na mahirap alisin.

Ang mas mataas na kamag -anak na kahalumigmigan, mas mahirap itong alisin ang pagdirikit. Gayunpaman, kapag ang kamag -anak na kahalumigmigan ay mas mababa sa 30%, ang mga particle ay madaling na -adsorbed sa ibabaw dahil sa pagkilos ng puwersa ng electrostatic, at isang malaking bilang ng mga aparato ng semiconductor ay madaling masira. Ang pinakamainam na saklaw ng temperatura para sa produksiyon ng silikon wafer ay 35-45%.

Presyon ng hanginkontrolinsa malinis na silid 

Para sa karamihan ng mga malinis na puwang, upang maiwasan ang panlabas na polusyon mula sa pagsalakay, kinakailangan upang mapanatili ang panloob na presyon (static pressure) na mas mataas kaysa sa panlabas na presyon (static pressure). Ang pagpapanatili ng pagkakaiba sa presyon ay dapat na sa pangkalahatan ay sumunod sa mga sumusunod na prinsipyo:

1. Ang presyon sa malinis na mga puwang ay dapat na mas mataas kaysa sa hindi malinis na mga puwang.

2. Ang presyon sa mga puwang na may mataas na antas ng kalinisan ay dapat na mas mataas kaysa sa mga katabing mga puwang na may mababang antas ng kalinisan.

3. Ang mga pintuan sa pagitan ng mga malinis na silid ay dapat buksan patungo sa mga silid na may mataas na antas ng kalinisan.

Ang pagpapanatili ng pagkakaiba sa presyon ay nakasalalay sa dami ng sariwang hangin, na dapat na mabayaran ang pagtagas ng hangin mula sa agwat sa ilalim ng pagkakaiba ng presyur na ito. Kaya ang pisikal na kahulugan ng pagkakaiba sa presyon ay ang paglaban ng pagtagas (o paglusot) na daloy ng hangin sa pamamagitan ng iba't ibang mga gaps sa malinis na silid.