Ang rate ng ani ng chip sa industriya ng pagmamanupaktura ng IC ay malapit na nauugnay sa laki at bilang ng mga partikulo ng hangin na idineposito sa chip. Ang isang mahusay na samahan ng daloy ng hangin ay maaaring tumagal ng mga particle na nabuo ng mapagkukunan ng alikabok na malayo sa malinis na silid upang matiyak ang kalinisan ng malinis na silid, iyon ay, ang organisasyon ng daloy ng hangin sa malinis na silid ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa rate ng ani ng paggawa ng IC. Ang disenyo ng samahan ng daloy ng hangin sa malinis na silid ay kailangang makamit ang mga sumusunod na layunin: bawasan o alisin ang eddy kasalukuyang sa patlang ng daloy upang maiwasan ang pagpapanatili ng mga nakakapinsalang partikulo; Panatilihin ang isang naaangkop na positibong gradient ng presyon upang maiwasan ang kontaminasyon ng cross.
Lakas ng daloy ng hangin
Ayon sa malinis na prinsipyo ng silid, ang mga puwersa na kumikilos sa mga particle ay may kasamang lakas ng masa, lakas ng molekular, pang -akit sa pagitan ng mga particle, lakas ng daloy ng hangin, atbp.
Airflow Force: Tumutukoy sa lakas ng daloy ng hangin na dulot ng paghahatid, pagbabalik ng daloy ng hangin, thermal convection airflow, artipisyal na pagpapakilos, at iba pang mga daloy ng hangin na may isang tiyak na rate ng daloy upang dalhin ang mga particle. Para sa teknikal na kontrol ng malinis na kapaligiran sa silid, ang lakas ng daloy ng hangin ay ang pinakamahalagang kadahilanan.
Ipinakita ng mga eksperimento na sa paggalaw ng daloy ng hangin, sinusunod ng mga particle ang paggalaw ng daloy ng hangin sa halos parehong bilis. Ang estado ng mga particle sa hangin ay natutukoy ng pamamahagi ng daloy ng hangin. Ang mga airflows na nakakaapekto sa mga panloob na particle ay higit sa lahat ay kinabibilangan ng: air supply airflow (kabilang ang pangunahing daloy ng hangin at pangalawang daloy ng hangin), daloy ng hangin at thermal convection airflow na sanhi ng paglalakad ng mga tao, at ang daloy ng hangin na sanhi ng pagpapatakbo ng proseso at pang -industriya na kagamitan. Ang iba't ibang mga pamamaraan ng supply ng hangin, mga interface ng bilis, mga operator at kagamitan sa industriya, at sapilitan na mga phenomena sa malinis na silid ay lahat ng mga kadahilanan na nakakaapekto sa antas ng kalinisan.
Mga salik na nakakaapekto sa samahan ng daloy ng hangin
1. Ang impluwensya ng paraan ng supply ng hangin
(1). Bilis ng air supply
Upang matiyak ang pantay na daloy ng hangin, ang bilis ng suplay ng hangin ay dapat na pantay sa isang unidirectional clean room; Ang patay na zone ng ibabaw ng air supply ay dapat na maliit; at ang pagbagsak ng presyon sa ULPA ay dapat ding maging pantay.
Uniform na bilis ng suplay ng hangin: iyon ay, ang hindi pantay na daloy ng hangin ay kinokontrol sa loob ng ± 20%.
Mas kaunting patay na zone sa ibabaw ng suplay ng hangin: Hindi lamang dapat mabawasan ang lugar ng eroplano ng ULPA, ngunit mas mahalaga, ang modular na FFU ay dapat na pinagtibay upang gawing simple ang kalabisan na frame.
Upang matiyak ang vertical na unidirectional airflow, ang pagpili ng presyon ng pagpili ng filter ay napakahalaga din, na hinihiling na ang pagkawala ng presyon sa filter ay hindi maaaring lumihis.
(2). Paghahambing sa pagitan ng FFU system at axial flow fan system
Ang FFU ay isang yunit ng air supply na may tagahanga at isang filter (ULPA). Matapos ang hangin ay sinipsip ng sentripugal fan ng FFU, ang dynamic na presyon ay na -convert sa static pressure sa air duct at pinasabog nang pantay -pantay ng ULPA. Ang presyon ng suplay ng hangin sa kisame ay negatibong presyon, upang walang alikabok na tumagas sa malinis na silid kapag ang filter ay pinalitan. Ipinakita ng mga eksperimento na ang sistema ng FFU ay higit na mataas sa sistema ng fan fan ng axial sa mga tuntunin ng pagkakapareho ng air outlet, parallelism ng airflow at index ng kahusayan ng bentilasyon. Ito ay dahil mas mahusay ang airflow parallelism ng FFU system. Ang paggamit ng FFU system ay maaaring gawing mas maayos ang daloy ng hangin sa malinis na silid.
(3). Ang impluwensya ng sariling istraktura ng FFU
Ang FFU ay pangunahing binubuo ng mga tagahanga, filter, mga aparato ng gabay sa daloy ng hangin at iba pang mga sangkap. Ang ultra-mataas na kahusayan ng filter na ULPA ay ang pinakamahalagang garantiya para sa kung ang malinis na silid ay maaaring makamit ang kinakailangang kalinisan ng disenyo. Ang materyal ng filter ay makakaapekto din sa pagkakapareho ng patlang ng daloy. Kapag ang isang magaspang na materyal na filter o isang laminar flow plate ay idinagdag sa filter outlet, ang patlang ng daloy ng outlet ay madaling gawing uniporme.
2. Epekto ng iba't ibang mga interface ng bilis ng kalinisan
Sa parehong malinis na silid, sa pagitan ng lugar ng pagtatrabaho at hindi nagtatrabaho na lugar ng vertical unidirectional flow, dahil sa pagkakaiba sa bilis ng hangin sa ULPA outlet, ang isang halo-halong epekto ng vortex ay bubuo sa interface, at ang interface na ito ay magiging isang magulong Ang air flow zone na may partikular na mataas na lakas ng kaguluhan ng hangin. Ang mga particle ay maaaring maipadala sa ibabaw ng kagamitan at mahawahan ang kagamitan at wafer.
3. Epekto ng kawani at kagamitan
Kapag ang malinis na silid ay walang laman, ang mga katangian ng daloy ng hangin sa silid ay karaniwang nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo. Kapag ang kagamitan ay pumapasok sa malinis na silid, ang paglipat ng mga tauhan at mga produkto ay ipinapadala, hindi maiiwasang maging mga hadlang sa samahan ng daloy ng hangin. Halimbawa, sa mga nakausli na sulok o mga gilid ng kagamitan, ang gas ay ililipat upang makabuo ng isang magulong zone, at ang likido sa zone ay hindi madaling madala ng gas, kaya nagiging sanhi ng polusyon. Kasabay nito, ang ibabaw ng kagamitan ay magpainit dahil sa patuloy na operasyon, at ang temperatura ng gradient ay magiging sanhi ng isang reflow zone na malapit sa makina, na tataas ang akumulasyon ng mga particle sa reflow zone. Kasabay nito, ang mataas na temperatura ay madaling maging sanhi ng pagtakas ng mga particle. Ang dalawahang epekto ay nagpapalala sa kahirapan sa pagkontrol sa pangkalahatang kalinisan ng laminar. Ang alikabok mula sa mga operator sa malinis na silid ay napakadaling sumunod sa mga wafer sa mga zone na ito.
4. Impluwensya ng Return Air Floor
Kapag ang paglaban ng pagbabalik ng hangin na dumadaan sa sahig ay naiiba, ang isang pagkakaiba sa presyon ay bubuo, upang ang hangin ay dumadaloy sa direksyon ng mas kaunting pagtutol, at ang pantay na daloy ng hangin ay hindi makuha. Ang kasalukuyang tanyag na pamamaraan ng disenyo ay ang paggamit ng mga nakataas na sahig. Kapag ang pagbubukas ng rate ng nakataas na sahig ay 10%, ang bilis ng daloy ng hangin sa taas ng pagtatrabaho ng silid ay maaaring pantay na maipamahagi. Bilang karagdagan, ang mahigpit na pansin ay dapat bayaran sa paglilinis ng trabaho upang mabawasan ang mapagkukunan ng polusyon ng sahig.
5. Induction phenomenon
Ang tinatawag na hindi pangkaraniwang bagay ay tumutukoy sa kababalaghan na ang daloy ng hangin sa kabaligtaran ng direksyon ng unipormeng daloy ay nabuo, at ang alikabok na nabuo sa silid o ang alikabok sa katabing kontaminadong lugar ay sapilitan sa gilid ng paitaas, upang ang alikabok maaaring mahawahan ang chip. Ang mga sumusunod ay ang mga posibleng mga hindi pangkaraniwang bagay sa induction:
(1). Blind Plate
Sa isang malinis na silid na may patayong unidirectional flow, dahil sa mga kasukasuan sa dingding, sa pangkalahatan ay may mga malalaking bulag na plato na bubuo ng kaguluhan sa lokal na daloy ng pagbabalik.
(2). Lampara
(3.) Mga gaps sa pagitan ng mga pader
Kapag may mga gaps sa pagitan ng mga partisyon na may iba't ibang mga antas ng kalinisan o sa pagitan ng mga partisyon at kisame, ang alikabok mula sa lugar na may mababang mga kinakailangan sa kalinisan ay maaaring ilipat sa katabing lugar na may mataas na mga kinakailangan sa kalinisan.
(4). Distansya sa pagitan ng makina at sahig o dingding
Kung ang agwat sa pagitan ng makina at sahig o dingding ay napakaliit, magiging sanhi ito ng rebound na kaguluhan. Samakatuwid, mag -iwan ng agwat sa pagitan ng kagamitan at dingding at itaas ang makina upang maiwasan ang pagpindot sa makina na direktang hawakan ang lupa.
Oras ng Mag-post: Pebrero-05-2025