Ang rate ng ani ng chip sa industriya ng pagmamanupaktura ng IC ay malapit na nauugnay sa laki at bilang ng mga particle ng hangin na idineposito sa chip. Maaaring alisin ng isang mahusay na organisasyon ng airflow ang mga particle na nabuo ng pinagmumulan ng alikabok mula sa malinis na silid upang matiyak ang kalinisan ng malinis na silid, iyon ay, ang organisasyon ng airflow sa malinis na silid ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa rate ng ani ng produksyon ng IC. Ang disenyo ng organisasyon ng airflow sa malinis na silid ay kailangang makamit ang mga sumusunod na layunin: bawasan o alisin ang eddy current sa field ng daloy upang maiwasan ang pagpapanatili ng mga nakakapinsalang particle; mapanatili ang isang naaangkop na positibong gradient ng presyon upang maiwasan ang cross contamination.
Lakas ng daloy ng hangin
Ayon sa prinsipyo ng malinis na silid, ang mga puwersang kumikilos sa mga particle ay kinabibilangan ng mass force, molecular force, attraction sa pagitan ng mga particle, airflow force, atbp.
Puwersa ng daloy ng hangin: tumutukoy sa puwersa ng daloy ng hangin na dulot ng paghahatid, pagbalik ng daloy ng hangin, thermal convection airflow, artipisyal na pagpapakilos, at iba pang mga daloy ng hangin na may tiyak na daloy ng daloy upang dalhin ang mga particle. Para sa teknikal na kontrol ng malinis na kapaligiran ng silid, ang puwersa ng daloy ng hangin ay ang pinakamahalagang kadahilanan.
Ipinakita ng mga eksperimento na sa paggalaw ng daloy ng hangin, ang mga particle ay sumusunod sa paggalaw ng daloy ng hangin sa halos parehong bilis. Ang estado ng mga particle sa hangin ay tinutukoy ng pamamahagi ng daloy ng hangin. Ang mga airflow na nakakaapekto sa panloob na mga particle ay pangunahing kinabibilangan ng: air supply airflow (kabilang ang pangunahing airflow at pangalawang airflow), airflow at thermal convection na airflow na dulot ng mga taong naglalakad, at ang airflow na dulot ng proseso ng operasyon at pang-industriya na kagamitan. Ang iba't ibang paraan ng supply ng hangin, mga interface ng bilis, mga operator at kagamitang pang-industriya, at mga induced phenomena sa mga malinis na silid ay lahat ng mga salik na nakakaapekto sa antas ng kalinisan.
Mga salik na nakakaapekto sa organisasyon ng daloy ng hangin
1. Ang impluwensya ng paraan ng supply ng hangin
(1). Bilis ng supply ng hangin
Upang matiyak ang pare-parehong daloy ng hangin, ang bilis ng supply ng hangin ay dapat na pare-pareho sa isang unidirectional na malinis na silid; ang patay na zone ng ibabaw ng suplay ng hangin ay dapat maliit; at ang pagbaba ng presyon sa ULPA ay dapat ding pare-pareho.
Uniform air supply speed: iyon ay, ang hindi pantay ng daloy ng hangin ay kinokontrol sa loob ng ±20%.
Mas kaunting dead zone sa ibabaw ng air supply: hindi lamang dapat bawasan ang plane area ng ULPA frame, ngunit higit sa lahat, dapat gamitin ang modular FFU upang gawing simple ang redundant frame.
Upang matiyak ang vertical unidirectional airflow, ang pagpili ng pressure drop ng filter ay napakahalaga din, na nangangailangan na ang pagkawala ng presyon sa filter ay hindi maaaring lumihis.
(2). Paghahambing sa pagitan ng FFU system at axial flow fan system
Ang FFU ay isang air supply unit na may fan at filter (ULPA). Matapos masipsip ang hangin sa pamamagitan ng centrifugal fan ng FFU, ang dynamic na presyon ay na-convert sa static na presyon sa air duct at hinihipan nang pantay-pantay ng ULPA. Ang presyon ng suplay ng hangin sa kisame ay negatibong presyon, upang walang alikabok na tumagas sa malinis na silid kapag pinalitan ang filter. Ipinakita ng mga eksperimento na ang sistema ng FFU ay nakahihigit sa sistema ng axial flow fan sa mga tuntunin ng pagkakapareho ng air outlet, parallelism ng airflow at index ng kahusayan ng bentilasyon. Ito ay dahil mas maganda ang airflow parallelism ng FFU system. Ang paggamit ng sistema ng FFU ay maaaring gawing mas maayos ang daloy ng hangin sa malinis na silid.
(3). Ang impluwensya ng sariling istraktura ng FFU
Ang FFU ay pangunahing binubuo ng mga fan, filter, airflow guide device at iba pang bahagi. Ang ultra-high efficiency filter na ULPA ay ang pinakamahalagang garantiya kung ang malinis na silid ay makakamit ang kinakailangang kalinisan ng disenyo. Ang materyal ng filter ay makakaapekto rin sa pagkakapareho ng field ng daloy. Kapag ang isang magaspang na materyal na filter o isang laminar flow plate ay idinagdag sa filter outlet, ang field ng daloy ng labasan ay madaling gawing pare-pareho.
2. Epekto ng iba't ibang bilis ng interface ng kalinisan
Sa parehong malinis na silid, sa pagitan ng working area at non-working area ng vertical unidirectional flow, dahil sa pagkakaiba sa bilis ng hangin sa ULPA outlet, isang mixed vortex effect ang bubuo sa interface, at ang interface na ito ay magiging turbulent air flow zone na may partikular na mataas na air turbulence intensity. Ang mga particle ay maaaring mailipat sa ibabaw ng kagamitan at mahawahan ang kagamitan at mga wafer.
3. Epekto ng mga tauhan at kagamitan
Kapag ang malinis na silid ay walang laman, ang mga katangian ng daloy ng hangin sa silid ay karaniwang nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo. Kapag ang kagamitan ay pumasok sa malinis na silid, gumagalaw ang mga tauhan at naipadala ang mga produkto, hindi maiiwasang magkaroon ng mga hadlang sa organisasyon ng daloy ng hangin. Halimbawa, sa mga nakausli na sulok o mga gilid ng kagamitan, ang gas ay ililihis upang bumuo ng isang magulong sona, at ang likido sa sona ay hindi madaling madala ng gas, kaya nagdudulot ng polusyon. Kasabay nito, ang ibabaw ng kagamitan ay magpapainit dahil sa tuluy-tuloy na operasyon, at ang gradient ng temperatura ay magdudulot ng reflow zone malapit sa makina, na magpapataas ng akumulasyon ng mga particle sa reflow zone. Kasabay nito, ang mataas na temperatura ay madaling maging sanhi ng pagtakas ng mga particle. Ang dual effect ay nagpapalubha sa kahirapan ng pagkontrol sa pangkalahatang vertical na kalinisan ng laminar. Ang alikabok mula sa mga operator sa malinis na silid ay napakadaling idikit sa mga wafer sa mga reflow zone na ito.
4. Impluwensiya ng return air floor
Kapag ang paglaban ng bumalik na hangin na dumadaan sa sahig ay naiiba, ang isang pagkakaiba sa presyon ay bubuo, upang ang hangin ay dadaloy sa direksyon ng mas kaunting pagtutol, at ang pantay na daloy ng hangin ay hindi makuha. Ang kasalukuyang sikat na paraan ng disenyo ay ang paggamit ng mga matataas na sahig. Kapag ang rate ng pagbubukas ng mga nakataas na sahig ay 10%, ang bilis ng daloy ng hangin sa taas ng trabaho ng silid ay maaaring pantay na maipamahagi. Bilang karagdagan, ang mahigpit na pansin ay dapat bayaran sa paglilinis ng trabaho upang mabawasan ang pinagmumulan ng polusyon sa sahig.
5. Induction phenomenon
Ang tinatawag na induction phenomenon ay tumutukoy sa hindi pangkaraniwang bagay na ang daloy ng hangin sa kabaligtaran ng direksyon ng pare-parehong daloy ay nabuo, at ang alikabok na nabuo sa silid o ang alikabok sa katabing kontaminadong lugar ay sapilitan sa upwind side, upang ang alikabok ay maaaring mahawahan ang chip. Ang mga sumusunod ay ang mga posibleng induction phenomena:
(1). Blind plate
Sa isang malinis na silid na may patayong unidirectional na daloy, dahil sa mga joints sa dingding, sa pangkalahatan ay may malalaking blind plate na bubuo ng kaguluhan sa lokal na daloy ng pagbalik.
(2). Mga lampara
Ang mga fixture ng ilaw sa malinis na silid ay magkakaroon ng mas malaking epekto. Dahil ang init ng mga fluorescent lamp ay nagiging sanhi ng pagtaas ng daloy ng hangin, hindi magkakaroon ng magulong lugar sa ilalim ng mga fluorescent lamp. Sa pangkalahatan, ang mga lamp sa malinis na silid ay idinisenyo sa isang patak ng luha na hugis upang mabawasan ang epekto ng mga lamp sa organisasyon ng daloy ng hangin.
(3.) Mga puwang sa pagitan ng mga pader
Kapag may mga puwang sa pagitan ng mga partisyon na may iba't ibang antas ng kalinisan o sa pagitan ng mga partisyon at kisame, ang alikabok mula sa lugar na may mababang mga kinakailangan sa kalinisan ay maaaring ilipat sa katabing lugar na may mataas na kinakailangan sa kalinisan.
(4). Distansya sa pagitan ng makina at sa sahig o dingding
Kung napakaliit ng agwat sa pagitan ng makina at ng sahig o dingding, magdudulot ito ng rebound turbulence. Samakatuwid, mag-iwan ng puwang sa pagitan ng kagamitan at ng dingding at itaas ang makina upang maiwasang direktang hawakan ng makina ang lupa.
Oras ng post: Peb-05-2025