Ang ani ng chip sa industriya ng paggawa ng chip ay malapit na nauugnay sa laki at bilang ng mga partikulo ng hangin na idineposito sa chip. Ang mahusay na organisasyon ng daloy ng hangin ay maaaring kumuha ng mga particle na nabuo mula sa mga mapagkukunan ng alikabok na malayo sa malinis na silid at matiyak ang kalinisan ng malinis. Iyon ay, ang organisasyon ng daloy ng hangin sa Cleanroom ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa ani ng paggawa ng chip. Ang mga hangarin na makamit sa disenyo ng Clean Room Air Flow Organization ay: upang mabawasan o maalis ang mga eddy currents sa daloy ng daloy upang maiwasan ang pagpapanatili ng mga nakakapinsalang particle; Upang mapanatili ang isang naaangkop na positibong gradient ng presyon upang maiwasan ang kontaminasyon ng cross.
Ayon sa malinis na prinsipyo ng silid, ang mga puwersa na kumikilos sa mga particle ay may kasamang lakas ng masa, lakas ng molekular, pang -akit sa pagitan ng mga particle, lakas ng daloy ng hangin, atbp.
Airflow Force: Tumutukoy sa lakas ng daloy ng hangin na dulot ng supply at pagbabalik ng daloy ng hangin, thermal convection airflow, artipisyal na pag -iingat, at iba pang mga daloy ng hangin na may isang tiyak na rate ng daloy upang magdala ng mga particle. Para sa Clean Room Environmental Technology Control, ang lakas ng daloy ng hangin ay ang pinakamahalagang kadahilanan.
Ipinakita ng mga eksperimento na sa paggalaw ng daloy ng hangin, ang mga particle ay sumusunod sa daloy ng hangin sa halos eksaktong parehong bilis. Ang kondisyon ng mga particle sa hangin ay natutukoy ng pamamahagi ng daloy ng hangin. Ang mga pangunahing epekto ng daloy ng hangin sa mga panloob na mga particle ay kinabibilangan ng: air supply airflow (kabilang ang pangunahing daloy ng hangin at pangalawang daloy ng hangin), daloy ng hangin at thermal convection airflow na sanhi ng paglalakad ng mga tao, at ang epekto ng daloy ng hangin sa mga particle na sanhi ng mga operasyon ng proseso at pang -industriya na kagamitan. Ang iba't ibang mga pamamaraan ng supply ng hangin, mga interface ng bilis, mga operator at pang -industriya na kagamitan, sapilitan na mga phenomena, atbp sa mga cleanroom ay lahat ng mga kadahilanan na nakakaapekto sa antas ng kalinisan.
1. Impluwensya ng paraan ng suplay ng hangin
(1) bilis ng supply ng hangin
Upang matiyak ang pantay na daloy ng hangin, ang bilis ng supply ng hangin sa unidirectional flow clean room ay dapat na pantay; Ang patay na zone sa ibabaw ng suplay ng hangin ay dapat na maliit; At ang pagbagsak ng presyon sa loob ng filter ng HEPA ay dapat ding maging pantay.
Ang bilis ng suplay ng hangin ay pantay: iyon ay, ang hindi pantay na daloy ng hangin ay kinokontrol sa loob ng ± 20%.
Mayroong mas kaunting patay na puwang sa ibabaw ng suplay ng hangin: hindi lamang dapat mabawasan ang lugar ng HEPA, ngunit mas mahalaga, ang modular na FFU ay dapat gamitin upang gawing simple ang kalabisan na frame.
Upang matiyak na ang daloy ng hangin ay patayo at unidirectional, ang pagpili ng pagbagsak ng presyon ng filter ay napakahalaga din, at kinakailangan na ang pagkawala ng presyon sa loob ng filter ay hindi maaaring maging bias.
(2) Paghahambing sa pagitan ng FFU System at Axial Flow Fan System
Ang FFU ay isang yunit ng air supply na may fan at filter ng HEPA. Ang hangin ay sinipsip ng sentripugal fan ng FFU at nagko -convert ang pabago -bagong presyon sa static pressure sa air duct. Ito ay pinasabog nang pantay -pantay ng hepa filter. Ang presyon ng suplay ng hangin sa kisame ay negatibong presyon. Sa ganitong paraan walang alikabok na tumagas sa malinis na silid kapag pinapalitan ang filter. Ipinakita ng mga eksperimento na ang sistema ng FFU ay higit na mataas sa sistema ng fan fan ng axial sa mga tuntunin ng pagkakapareho ng air outlet, pag -agos ng hangin na paralelismo at index ng kahusayan ng bentilasyon. Ito ay dahil mas mahusay ang daloy ng hangin ng FFU system ay mas mahusay. Ang paggamit ng FFU system ay maaaring mapabuti ang organisasyon ng daloy ng hangin sa malinis na silid.
(3) Impluwensya ng sariling istraktura ng FFU
Ang FFU ay pangunahing binubuo ng mga tagahanga, filter, gabay sa daloy ng hangin at iba pang mga sangkap. Ang HEPA filter ay ang pinakamahalagang garantiya para sa malinis na silid upang makamit ang kinakailangang kalinisan na kinakailangan ng disenyo. Ang materyal ng filter ay makakaapekto din sa pagkakapareho ng patlang ng daloy. Kapag ang isang magaspang na materyal ng filter o isang daloy ng plato ay idinagdag sa outlet ng filter, ang patlang ng daloy ng outlet ay madaling gawing uniporme.
2. Epekto ng bilis ng interface na may iba't ibang kalinisan
Sa parehong malinis na silid, sa pagitan ng lugar ng pagtatrabaho at ang hindi nagtatrabaho na lugar na may patayong unidirectional flow, dahil sa pagkakaiba sa bilis ng hangin sa kahon ng HEPA, isang halo-halong epekto ng vortex ay magaganap sa interface, at ang interface na ito ay magiging isang magulong Airflow Zone. Ang intensity ng kaguluhan ng hangin ay partikular na malakas, at ang mga particle ay maaaring maipadala sa ibabaw ng makina ng kagamitan at mahawahan ang kagamitan at wafer.
3. Epekto sa mga kawani at kagamitan
Kapag ang malinis na silid ay walang laman, ang mga katangian ng daloy ng hangin sa silid sa pangkalahatan ay nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo. Kapag ang kagamitan ay pumapasok sa kalinisan, ang mga tao ay gumagalaw, at ang mga produkto ay dinadala, walang maiiwasang mga hadlang sa samahan ng daloy ng hangin, tulad ng mga matulis na puntos na nakausli mula sa makina ng kagamitan. Sa mga sulok o gilid, ang gas ay lilipat upang makabuo ng isang magulong daloy na lugar, at ang likido sa lugar ay hindi madaling madala ng papasok na gas, kaya nagiging sanhi ng polusyon.
Kasabay nito, ang ibabaw ng mekanikal na kagamitan ay pinainit dahil sa patuloy na operasyon, at ang gradient ng temperatura ay magiging sanhi ng isang lugar ng pagmuni -muni na malapit sa makina, na pinatataas ang akumulasyon ng mga particle sa lugar ng pagmuni -muni. Kasabay nito, ang mataas na temperatura ay madaling maging sanhi ng pagtakas ng mga particle. Ang dalawahang epekto ay tumindi ang pangkalahatang patayong layer. Ang kahirapan sa pagkontrol sa kalinisan ng stream. Ang alikabok mula sa mga operator sa malinis na silid ay madaling sumunod sa mga wafer sa mga lugar na ito.
4. Impluwensya ng Return Air Floor
Kapag ang paglaban ng pagbabalik ng hangin na dumadaan sa sahig ay naiiba, magaganap ang pagkakaiba sa presyon, na nagiging sanhi ng daloy ng hangin sa direksyon ng maliit na pagtutol, at ang pantay na daloy ng hangin ay hindi makuha. Ang kasalukuyang tanyag na pamamaraan ng disenyo ay ang paggamit ng isang nakataas na sahig. Kapag ang pambungad na ratio ng nakataas na sahig ay nasa 10%, ang bilis ng daloy ng hangin ay maaaring pantay na maipamahagi sa panloob na taas ng pagtatrabaho. Bilang karagdagan, ang mahigpit na pansin ay dapat bayaran sa paglilinis ng trabaho upang mabawasan ang mapagkukunan ng polusyon sa sahig.
5. Induction phenomenon
Ang tinaguriang hindi pangkaraniwang bagay na hindi pangkaraniwang bagay ay tumutukoy sa kababalaghan ng pagbuo ng daloy ng hangin sa kabaligtaran ng direksyon sa pantay na daloy, na nag-uudyok ng alikabok na nabuo sa silid o alikabok sa katabing mga kontaminadong lugar sa paitaas na bahagi, sa gayon ay nagiging sanhi ng alikabok na mahawahan ang wafer. Ang mga posibleng sapilitan na mga phenomena ay kasama ang sumusunod:
(1) Blind plate
Sa isang malinis na silid na may vertical one-way flow, dahil sa mga kasukasuan sa dingding, sa pangkalahatan ay may mga malalaking bulag na panel na gagawa ng magulong daloy at lokal na backflow.
(2) Mga lampara
Ang mga pag -iilaw ng ilaw sa malinis na silid ay magkakaroon ng mas malaking epekto. Dahil ang init ng fluorescent lamp ay nagiging sanhi ng pagtaas ng daloy ng hangin, ang fluorescent lamp ay hindi magiging isang magulong lugar. Karaniwan, ang mga lampara sa malinis na silid ay idinisenyo sa isang hugis ng teardrop upang mabawasan ang epekto ng mga lampara sa samahan ng daloy ng hangin.
(3) Mga gaps sa pagitan ng mga pader
Kapag may mga gaps sa pagitan ng mga pader ng pagkahati o kisame na may iba't ibang mga kinakailangan sa kalinisan, ang alikabok mula sa mga lugar na may mababang mga kinakailangan sa kalinisan ay maaaring ilipat sa mga katabing lugar na may mataas na mga kinakailangan sa kalinisan.
(4) Ang distansya sa pagitan ng mga kagamitan sa mekanikal at sahig o dingding
Kung ang agwat sa pagitan ng mga kagamitan sa mekanikal at ang sahig o dingding ay maliit, mag -aalsa ang kaguluhan. Samakatuwid, mag -iwan ng puwang sa pagitan ng kagamitan at dingding at itaas ang platform ng makina upang maiwasan ang direktang pakikipag -ugnay sa lupa.
Oras ng Mag-post: Nov-02-2023