Ang ani ng chip sa industriya ng paggawa ng chip ay malapit na nauugnay sa laki at bilang ng mga particle ng hangin na idineposito sa chip. Ang mahusay na organisasyon ng daloy ng hangin ay maaaring kumuha ng mga particle na nabuo mula sa mga pinagmumulan ng alikabok mula sa malinis na silid at matiyak ang kalinisan ng cleanroom. Iyon ay, ang organisasyon ng daloy ng hangin sa cleanroom ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa ani ng paggawa ng chip. Ang mga layunin na makakamit sa disenyo ng organisasyon ng daloy ng hangin sa malinis na silid ay: bawasan o alisin ang mga eddy currents sa flow field upang maiwasan ang pagpapanatili ng mga nakakapinsalang particle; upang mapanatili ang isang naaangkop na positibong gradient ng presyon upang maiwasan ang cross-contamination.
Ayon sa prinsipyo ng malinis na silid, ang mga puwersang kumikilos sa mga particle ay kinabibilangan ng mass force, molecular force, attraction sa pagitan ng mga particle, air flow force, atbp.
Airflow force: tumutukoy sa puwersa ng airflow na dulot ng supply at return airflow, thermal convection airflow, artificial agitation, at iba pang airflow na may tiyak na flow rate para magdala ng mga particle. Para sa kontrol ng teknolohiyang pangkapaligiran ng malinis na silid, ang puwersa ng daloy ng hangin ang pinakamahalagang salik.
Ipinakita ng mga eksperimento na sa paggalaw ng airflow, ang mga particle ay sumusunod sa daloy ng hangin sa halos eksaktong parehong bilis. Ang kondisyon ng mga particle sa hangin ay tinutukoy ng pamamahagi ng daloy ng hangin. Ang mga pangunahing epekto ng airflow sa mga panloob na particle ay kinabibilangan ng: air supply airflow (kabilang ang pangunahing airflow at pangalawang airflow), airflow at thermal convection na airflow na dulot ng mga taong naglalakad, at ang epekto ng airflow sa mga particle na dulot ng mga operasyon ng proseso at pang-industriya na kagamitan. Ang iba't ibang paraan ng supply ng hangin, speed interface, operator at kagamitang pang-industriya, induced phenomena, atbp sa mga cleanroom ay lahat ng mga salik na nakakaapekto sa antas ng kalinisan.
1. Impluwensiya ng paraan ng supply ng hangin
(1) Bilis ng supply ng hangin
Upang matiyak ang pare-parehong daloy ng hangin, ang bilis ng supply ng hangin sa unidirectional flow malinis na silid ay dapat na pare-pareho; ang patay na zone sa ibabaw ng suplay ng hangin ay dapat maliit; at ang pagbaba ng presyon sa loob ng hepa filter ay dapat ding pare-pareho.
Ang bilis ng supply ng hangin ay pare-pareho: iyon ay, ang hindi pantay ng daloy ng hangin ay kinokontrol sa loob ng ±20%.
Mayroong mas kaunting patay na espasyo sa ibabaw ng suplay ng hangin: hindi lamang dapat bawasan ang lugar ng eroplano ng hepa frame, ngunit higit sa lahat, ang modular FFU ay dapat gamitin upang pasimplehin ang redundant na frame.
Upang matiyak na ang daloy ng hangin ay patayo at unidirectional, ang pagpili ng pagbaba ng presyon ng filter ay napakahalaga din, at kinakailangan na ang pagkawala ng presyon sa loob ng filter ay hindi maaaring maging bias.
(2) Paghahambing sa pagitan ng FFU system at axial flow fan system
Ang FFU ay isang air supply unit na may fan at hepa filter. Ang hangin ay sinipsip ng centrifugal fan ng FFU at binago ang dynamic na presyon sa static na presyon sa air duct. Ito ay hinihipan nang pantay-pantay ng hepa filter. Ang presyon ng suplay ng hangin sa kisame ay negatibong presyon. Sa ganitong paraan walang alikabok na tatagas sa malinis na silid kapag pinapalitan ang filter. Ipinakita ng mga eksperimento na ang sistema ng FFU ay nakahihigit sa sistema ng axial flow fan sa mga tuntunin ng pagkakapareho ng air outlet, parallelism ng daloy ng hangin at index ng kahusayan ng bentilasyon. Ito ay dahil mas maganda ang air flow parallelism ng FFU system. Ang paggamit ng sistema ng FFU ay maaaring mapabuti ang organisasyon ng daloy ng hangin sa malinis na silid.
(3) Impluwensiya ng sariling istruktura ng FFU
Ang FFU ay pangunahing binubuo ng mga tagahanga, mga filter, mga gabay sa daloy ng hangin at iba pang mga bahagi. Ang hepa filter ay ang pinakamahalagang garantiya para sa malinis na silid upang makamit ang kinakailangang kalinisan na kinakailangan ng disenyo. Ang materyal ng filter ay makakaapekto rin sa pagkakapareho ng field ng daloy. Kapag ang isang magaspang na materyal na filter o isang flow plate ay idinagdag sa filter outlet, ang field ng daloy ng outlet ay madaling gawing pare-pareho.
2. Epekto ng bilis ng interface na may iba't ibang kalinisan
Sa parehong malinis na silid, sa pagitan ng lugar ng pagtatrabaho at ng hindi gumaganang lugar na may patayong unidirectional na daloy, dahil sa pagkakaiba sa bilis ng hangin sa kahon ng hepa, isang halo-halong epekto ng vortex ang magaganap sa interface, at ang interface na ito ay magiging isang magulong airflow zone. Ang intensity ng air turbulence ay partikular na malakas, at ang mga particle ay maaaring mailipat sa ibabaw ng equipment machine at mahawahan ang equipment at wafers.
3. Epekto sa mga tauhan at kagamitan
Kapag ang malinis na silid ay walang laman, ang mga katangian ng daloy ng hangin sa silid ay karaniwang nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo. Kapag ang kagamitan ay pumasok sa malinis na silid, ang mga tao ay gumagalaw, at ang mga produkto ay dinadala, hindi maiiwasang may mga hadlang sa organisasyon ng daloy ng hangin, tulad ng mga matutulis na punto na nakausli mula sa makina ng kagamitan. Sa mga sulok o gilid, ang gas ay lilihis upang bumuo ng isang magulong lugar ng daloy, at ang likido sa lugar ay hindi madaling madala ng papasok na gas, kaya nagdudulot ng polusyon.
Kasabay nito, ang ibabaw ng mekanikal na kagamitan ay maiinit dahil sa tuluy-tuloy na operasyon, at ang gradient ng temperatura ay magdudulot ng reflow area malapit sa makina, na nagpapataas ng akumulasyon ng mga particle sa reflow area. Kasabay nito, ang mataas na temperatura ay madaling maging sanhi ng pagtakas ng mga particle. Ang dalawahang epekto ay nagpapatindi sa pangkalahatang vertical na layer. Ang hirap kontrolin ang kalinisan ng batis. Ang alikabok mula sa mga operator sa malinis na silid ay madaling dumikit sa mga wafer sa mga lugar na ito ng reflow.
4. Impluwensiya ng return air floor
Kapag ang paglaban ng bumalik na hangin na dumadaan sa sahig ay naiiba, ang pagkakaiba ng presyon ay magaganap, na nagiging sanhi ng pag-agos ng hangin sa direksyon ng maliit na pagtutol, at ang pare-parehong daloy ng hangin ay hindi makukuha. Ang kasalukuyang sikat na paraan ng disenyo ay ang paggamit ng mataas na palapag. Kapag ang pambungad na ratio ng nakataas na palapag ay nasa 10%, ang bilis ng daloy ng hangin ay maaaring pantay na ipamahagi sa panloob na taas ng pagtatrabaho. Bilang karagdagan, ang mahigpit na pansin ay dapat bayaran sa paglilinis ng trabaho upang mabawasan ang pinagmumulan ng polusyon sa sahig.
5. Induction phenomenon
Ang tinatawag na induction phenomenon ay tumutukoy sa hindi pangkaraniwang bagay ng pagbuo ng airflow sa kabaligtaran ng direksyon sa pare-parehong daloy, na nag-udyok sa alikabok na nabuo sa silid o alikabok sa mga katabing kontaminadong lugar sa gilid ng hangin, na nagiging sanhi ng alikabok na mahawahan ang ostiya. Ang mga posibleng induced phenomena ay kinabibilangan ng mga sumusunod:
(1) Blind plate
Sa isang malinis na silid na may patayong one-way na daloy, dahil sa mga joints sa dingding, karaniwang may malalaking blind panel na magbubunga ng magulong daloy at lokal na backflow.
(2) Mga lampara
Ang mga fixture ng ilaw sa malinis na silid ay magkakaroon ng mas malaking epekto. Dahil ang init ng fluorescent lamp ay nagiging sanhi ng pagtaas ng daloy ng hangin, ang fluorescent lamp ay hindi magiging isang magulong lugar. Sa pangkalahatan, ang mga lamp sa malinis na silid ay idinisenyo sa hugis na patak ng luha upang mabawasan ang epekto ng mga lamp sa organisasyon ng daloy ng hangin.
(3) Mga puwang sa pagitan ng mga pader
Kapag may mga puwang sa pagitan ng mga partition wall o kisame na may iba't ibang mga kinakailangan sa kalinisan, ang alikabok mula sa mga lugar na may mababang mga kinakailangan sa kalinisan ay maaaring ilipat sa mga katabing lugar na may mataas na mga kinakailangan sa kalinisan.
(4) Ang distansya sa pagitan ng mekanikal na kagamitan at sa sahig o dingding
Kung maliit ang agwat sa pagitan ng mekanikal na kagamitan at sa sahig o dingding, magaganap ang rebound turbulence. Samakatuwid, mag-iwan ng puwang sa pagitan ng kagamitan at ng dingding at itaas ang platform ng makina upang maiwasan ang direktang kontak sa lupa.
Oras ng post: Nob-02-2023